真空管器检测主要用到以下仪器：
1. 真空度测试仪：用于测量真空管器内部的真空度，通常采用离子阱式真空度测试仪。
2. 漏气检测仪：用于检测真空管器是否存在漏气现象，通常采用氦气质谱漏气检测仪。
3. 电压测试仪：用于测量真空管器的工作电压，通常采用数字电压表或示波器。
4. 电流测试仪：用于测量真空管器的工作电流，通常采用数字电流表或示波器。
5. 丝网颗粒检测仪：用于检测真空管器内部丝网颗粒的情况，通常采用显微镜或专用丝网颗粒检测仪。
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