真空接头检测通常使用以下仪器：
1. 真空泵：用于建立和维持测试环境中的真空。
2. 压力传感器：用于测量真空接头内部的压力。
3. 漏泄仪：用于检测真空接头的泄漏情况，可以通过泄漏率来评估接头密封性能。
4. 高精度压力表：用于测量真空接头的压力。
5. 测试设备：如真空测试箱或真空室，用于提供需要测试的真空环境。
6. 数据记录设备：如计算机或数据记录器，用于记录和分析检测过程中的数据。
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中析研究所
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