无源谐振腔检测通常需要使用以下仪器：
1. 矢量网络分析仪：用于测量无源谐振腔的散射参数（S 参数），包括反射系数和传输系数。它可以提供有关谐振腔的频率响应、带宽、品质因数等信息。
2. 频谱分析仪：用于分析无源谐振腔的频率响应，确定谐振频率和带宽。它可以检测到谐振腔的共振峰，并测量其幅度和频率。
3. 示波器：用于观察无源谐振腔的信号波形，例如输入信号和输出信号的幅度和相位。它可以帮助检测谐振腔的稳定性和动态响应。
4. 功率计：用于测量无源谐振腔的输入功率和输出功率，以确定其功率传输效率。
5. 温度控制器：用于控制无源谐振腔的温度，以研究温度对其性能的影响。
6. 机械调谐器：用于手动调节无源谐振腔的谐振频率，以进行频率调谐和优化。
7. 光学显微镜或扫描电子显微镜：用于观察无源谐振腔的物理结构和表面形貌，以评估其制造质量和性能。
