碳化检测可以使用以下仪器：
1. 电子显微镜（SEM）：通过扫描样品表面并利用电子束与样品相互作用的方式，观察样品表面的碳化程度。
2. 能谱仪（EDX）：与SEM相结合使用，可以在扫描样品表面时同时检测出样品中元素的成分，从而确定碳化物的存在。
3. X射线衍射仪（XRD）：通过对样品进行X射线衍射分析，可以确定样品中的碳化物晶体结构和相对含量。
4. 碳硫分析仪：用于测定样品中的碳和硫的含量，从而判断碳化程度。
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中析研究所
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