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1. 扫描电子显微镜(SEM):用于观察样品表面形貌,可以检测窄沟效应的程度。
2. 原子力显微镜(AFM):可以进行纳米级的表面形貌测量,用于评估窄沟效应的特征尺寸和形状。
3. 聚焦离子束(FIB):利用离子束在样品表面进行刻蚀和切割,用于制备剖面样品,并可以观察到窄沟效应的存在与否。
4. 电子束光刻机(EBL):用于在样品表面进行高精度的光刻加工,制备纳米尺度的结构,可以用于研究窄沟效应的影响。
中析研究所性能实验室配备前沿的测试设备和仪器,能够对各种材料进行全面的性能测试。这些测试可以涵盖材料的力学性能、热性能、化学性能、电性能等方面。常见的测试项目包括拉伸强度测试、硬度测试、冲击韧性测试、热膨胀系数测量、燃烧性能测试、电导率测试等。实验室的测试过程严格遵循国际标准和行业规范,确保测试结果的准确性和可靠性。