激光干涉仪：可用于检测长度、角度、直线度等误差因素。
三坐标测量机：能够测量物体的几何形状、尺寸和位置误差。
影像测量仪：适用于测量二维尺寸、形状和位置误差。
硬度计：用于检测材料的硬度误差。
粗糙度仪：可测量表面粗糙度的误差。
测厚仪：用于测量物体的厚度误差。
卡尺：常见的测量工具，可测量长度、宽度等尺寸误差。
千分尺：能精确测量较小尺寸的误差。
投影仪：用于检测形状和轮廓的误差。
水平仪：检测平面的水平度误差。
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