微电子束分板检测-检测仪器
扫描电子显微镜:用于观察样品的微观结构和表面形貌。
X 射线衍射仪:可对样品进行物相分析和晶体结构测定。
能谱仪:用于分析样品的元素组成和化学状态。
原子力显微镜:可对样品进行高分辨率的表面形貌和力学性能测试。
激光共聚焦显微镜:用于观察样品的三维结构和荧光标记。
热重分析仪:可对样品进行热稳定性和分解行为的分析。
差示扫描量热仪:用于研究样品的热转变和热力学性质。
红外光谱仪:可对样品进行化学键和官能团的分析。
拉曼光谱仪:用于研究样品的分子结构和振动模式。
电化学工作站:可对样品进行电化学性能测试,如电极反应、电导率等。