1. 气体分析仪：用于对产生的气体进行成分分析，包括氧气、氮气、二氧化碳等。
2. 燃烧分析仪：用于对燃烧气体进行分析，包括氧气含量、燃烧效率等。
3. 温湿度计：用于测量工序中的温度和湿度，确保环境条件符合要求。
4. 气体流量计：用于测量气体流量，包括供气流量和排气流量。
5. 压力计：用于测量气体的压力，包括供气压力和排气压力。
6. 瓶式气体检测泵：用于采集气体样品，进行后续化学成分分析。
7. 磁力计：用于测量产生的磁场强度，用于分析气体中的某些成分。
8. 红外光谱仪：用于测量气体中的特定成分，通过其吸收红外光谱的方式进行分析。
9. 离子色谱仪：用于检测气体中的离子组成，并进行定量分析。
10. 气相色谱仪：用于对气体中的有机化合物进行分析和检测。
