真空脱气坑检测主要用到以下仪器：
1. 真空计：用于测量真空脱气坑中的真空度，常见的有热阴极离子化真空计、热阴极电离真空计和冷阴极电子捕获真空计等。
2. 气体质谱仪：用于分析真空脱气坑中的气体组成和含量，能够检测到极低浓度的气体成分。
3. 压力传感器：用于测量真空脱气坑中的气体压力，可以实时监测真空度的变化。
4. 漏气检测仪：用于检测真空脱气坑的密封性能，可以定位和判断漏气点。
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