1. 真空度测试仪：用于测量真空系统的真空度，常见的有毛细管压力计、热阴极离子真空计等。
2. 气体分析仪：用于分析真空系统中的气体成分和浓度，可检测常见气体如氢气、氧气、氮气等。
3. 漏气检测仪：用于检测真空系统中是否存在泄漏点，常见的有氦气检漏仪。
4. 高温高真空测试仪：用于测试材料在高温和高真空环境下的性能，如热膨胀系数、热导率等。
5. 质谱仪：用于分析真空系统中气体的质量和离子组成，常用于研究气体放电等现象。
6. 气体纯度测试仪：用于测试气体的纯度，常用于检测氧气、氮气等工业气体的纯度。
