1. 真空泵：用于产生和维持所需的低真空环境。
2. 真空计：用于测量真空度，常见的有热阴极离子化真空计、热阴极分子泵真空计等。
3. 残留气体分析仪：用于检测真空环境中的残留气体种类和浓度，常见的有气相色谱-质谱联用仪、质谱计等。
4. 气体泄漏检测仪：用于检测真空系统中的气体泄漏情况，常见的有氦气质谱漏损检测仪、红外气体泄漏检测仪等。
5. 大气综合检测仪：用于检测真空系统的泄漏情况和真空泵排出气体的质量及成分，常见的有多感应环保检测仪、多项指标检测仪等。
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