真空焊接检测的仪器主要包括：
1. 真空度测试仪：用于测量焊接过程中的真空度，常见的有热阴极离子真空计和室温离子真空计。
2. 焊接温度计：用于测量焊接过程中的温度，可选择红外温度计或热电偶温度计等。
3. 焊接压力表：用于测量焊接过程中的压力，常见的有数字式压力表和机械式压力表。
4. 放电检测仪：用于检测焊接过程中的放电情况，可选择直流放电检测仪或交流放电检测仪。
5. 气体分析仪：用于分析焊接过程中产生的气体成分和含量，可选择质谱仪或气体色谱仪等。
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