示波器：用于测量电信号的波形和参数，可检测微声学器件的电性能。
频谱分析仪：用于分析信号的频谱成分，可检测微声学器件的频率响应。
网络分析仪：用于测量网络的参数，如 S 参数，可检测微声学器件的传输特性。
声学测试仪：用于测量声学参数，如声压、声强等，可检测微声学器件的声学性能。
显微镜：用于观察微声学器件的微观结构，可检测器件的制造质量。
X 射线衍射仪：用于分析材料的晶体结构，可检测微声学器件的材料特性。
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中析研究所
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