电子微差压计：用于测量微小的压力差，精度高，可测量正压、负压和差压。
激光干涉仪：用于测量微小的位移和长度变化，精度高，可测量平面度、平行度等。
电容式微位移传感器：用于测量微小的位移和长度变化，精度高，可测量平面度、平行度等。
电感式微位移传感器：用于测量微小的位移和长度变化，精度高，可测量平面度、平行度等。
光学显微镜：用于观察微小的物体和结构，分辨率高，可测量物体的尺寸、形状等。
电子显微镜：用于观察微小的物体和结构，分辨率高，可测量物体的尺寸、形状等。
X 射线衍射仪：用于分析物质的结构和成分，可测量晶体结构、晶格常数等。
拉曼光谱仪：用于分析物质的结构和成分，可测量分子振动、化学键等。
气相色谱仪：用于分析气体混合物的成分和含量，可测量有机物、无机物等。
液相色谱仪：用于分析液体混合物的成分和含量，可测量有机物、无机物等。
