透射电子显微镜（Transmission Electron Microscope，TEM）：用于观察和分析样品的微观结构，分辨率可达纳米级别。
电子衍射仪（Electron Diffraction Apparatus）：用于确定样品的晶体结构和晶格参数。
能谱仪（Energy Dispersive Spectrometer，EDS）：用于分析样品中元素的种类和含量。
选区电子衍射仪（Selected Area Electron Diffraction，SAED）：用于对样品的特定区域进行电子衍射分析。
