真空箱氦检漏仪：用于检测真空箱是否存在泄漏，可检测到非常小的泄漏。
真空计：用于测量真空箱内的压力，以确定真空度。
检漏液：可用于检测真空箱的泄漏点，通常用于初步检测。
压力传感器：用于监测真空箱内的压力变化。
温度计：用于测量真空箱内的温度。
湿度计：用于测量真空箱内的湿度。
光谱仪：可用于分析真空箱内的气体成分。
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中析研究所
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