外延片检测是对半导体外延片进行的一系列测试和分析，以确保其质量和性能符合要求。
厚度测量：使用光学或机械方法测量外延片的厚度。
电阻率测试：确定外延片的电阻率。
载流子浓度测试：测量外延片中的载流子浓度。
迁移率测试：评估载流子在电场中的迁移能力。
晶体结构分析：如 X 射线衍射，确定外延片的晶体结构。
表面平整度测试：检查外延片表面的平整度。
粗糙度测试：测量外延片表面的粗糙度。
缺陷检测：如位错、裂纹等缺陷的检测。
成分分析：确定外延片中的元素组成。
光学性能测试：如折射率、吸收系数等。
发光性能测试：测量外延片的发光强度和波长。
电学性能测试：如电容、电阻等。
热稳定性测试：评估外延片在高温下的性能稳定性。
化学稳定性测试：检测外延片对化学物质的抵抗能力。
环境可靠性测试：模拟不同环境条件下外延片的可靠性。
量子效率测试：测量外延片的量子效率。
发光二极管（LED）特性测试：针对用于 LED 制造的外延片进行相关测试。
激光二极管（LD）特性测试：适用于 LD 外延片的检测。
太阳能电池特性测试：用于太阳能电池外延片的评估。
外延层厚度均匀性测试：检查外延层厚度的一致性。
外延层掺杂均匀性测试：评估外延层中掺杂剂的分布均匀性。
界面特性测试：分析外延片与衬底之间的界面特性。
晶格匹配度测试：确定外延片与衬底的晶格匹配程度。
外延生长速率测试：测量外延生长的速度。
外延片应力测试：评估外延片内部的应力情况。
外延片翘曲度测试：检查外延片的翘曲程度。
外延片弯曲度测试：测量外延片的弯曲程度。
外延片平整度测试：评估外延片表面的平整度。
外延片粗糙度测试：测量外延片表面的粗糙度。
外延片缺陷密度测试：确定外延片中缺陷的密度。
外延片电学性能稳定性测试：评估外延片电学性能在长时间使用中的稳定性。
