真空诊断室检测-检测仪器
在真空诊断室中进行的检测使用以下仪器:
1. 真空计:用于测量诊断室内的真空程度,常见的真空计包括热阴极离子化真空计、冷阴极离子化真空计等。
2. 气体分析仪:用于分析诊断室内的气体成分和含量,常见的气体分析仪有质谱仪、红外吸收气体分析仪等。
3. 漏电检测仪:用于检测诊断室内的真空系统是否存在漏电情况,常见的漏电检测仪有背景漏电检测仪、直流绝缘电阻仪等。
4. 温湿度计:用于测量诊断室内的温度和湿度,常见的温湿度计有数字温湿度计、电子温湿度计等。
在真空诊断室中进行的检测使用以下仪器:
1. 真空计:用于测量诊断室内的真空程度,常见的真空计包括热阴极离子化真空计、冷阴极离子化真空计等。
2. 气体分析仪:用于分析诊断室内的气体成分和含量,常见的气体分析仪有质谱仪、红外吸收气体分析仪等。
3. 漏电检测仪:用于检测诊断室内的真空系统是否存在漏电情况,常见的漏电检测仪有背景漏电检测仪、直流绝缘电阻仪等。
4. 温湿度计:用于测量诊断室内的温度和湿度,常见的温湿度计有数字温湿度计、电子温湿度计等。