1. 平面度测量仪：用于检测基础板的平面度，能够精确测量平面度的误差，以判断基础板的制造质量。
2. 直角度测量仪：用于检测基础板的直角度，能够精确测量直角度的误差，以判断基础板是否符合设计要求。
3. 表面粗糙度仪：用于检测基础板的表面粗糙度，能够测量表面的不平整程度，以判断基础板的表面质量。
4. 光学投影仪：用于检测基础板的尺寸和形状，能够放大和投影基础板的图形，以便对尺寸和形状进行精确的测量。
5. CMM三坐标测量仪：用于检测基础板的三维尺寸和形状，能够通过测量基础板上的多个坐标点，以获取整个基础板的尺寸和形状数据。
6. 密度测试仪：用于检测基础板的密度，能够测量基础板的密度，以判断其材料质量和均匀性。
7. 电子显微镜：用于检测基础板表面的微观结构，能够放大基础板表面的细微缺陷和异物，以判断基础板的表面质量。
