常用的杂质半导体检测仪器包括：
1. 红外光谱仪：可以使用红外光谱分析样品中的不同元素和化学键，帮助确定杂质的种类和含量。
2. 原子吸收光谱仪：使用杂质元素产生的特定吸收线进行定性和定量分析。
3. 能谱仪：可以测量杂质的能谱信号，根据信号的特征来确定杂质的种类。
4. X射线荧光光谱仪：利用杂质元素吸收X射线而发射出荧光信号，通过测量荧光信号来确定杂质元素的种类和含量。
5. 微量元素分析仪：可以对杂质中的微量元素进行定量分析和甄别。
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中析研究所
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