1. SEM（扫描电子显微镜）：用于观察和分析芯片表面形貌和微观结构。
2. X射线衍射仪：用于确定晶体结构、相和取向。
3. FTIR（傅里叶红外光谱仪）：用于检测材料的分子结构、化学键和功能团。
4. AFM（原子力显微镜）：用于观察和测量材料的表面形貌和纳米级的结构。
5. TEM（透射电子显微镜）：用于观察和分析材料的微观结构和晶体缺陷。
6. EDX（能量色散X射线光谱仪）：用于分析材料成分和元素分布。
7. 反射率测量仪：用于测量材料的光学性质，如反射率、透射率和吸收率。
8. 电子能谱仪：用于分析材料的表面成分和化学状态。
9. 物性测试仪器：如电阻率仪、热导率仪、介电常数测试仪，用于测量材料的特性参数。
