1. 光学显微镜：用于观察圆隔片的外观、表面缺陷和精度。
2. 电子显微镜：通过高放大倍数观察圆隔片的微观结构和表面形貌。
3. 双管光学投影仪：用于测量圆隔片的直径、厚度和平行度等几何尺寸。
4. 电子天平：用于精确测量圆隔片的质量。
5. 机械量具：例如宏观卡尺、千分尺等，用于测量圆隔片的尺寸、平行度和表面质量。
6. 曲率仪：用于测量圆隔片的曲率半径。
7. 表面粗糙度测量仪：用于检测圆隔片表面的粗糙程度。
8. 显微硬度计：用于测量圆隔片的硬度。
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