预浸机检测主要应用于电子制造、半导体、光电、光电显示等领域，用于测试预浸机的性能和质量。
预浸机检测的范围包括但不限于以下内容：
1. 工艺性能检测：
- 浸液温度：检测预浸机浸液的温度是否在正常范围内。
- 浸液流量：测试预浸机浸液流量的稳定性和准确性。
- 浸液压力：检测预浸机浸液的压力是否符合要求。
- 浸液均匀性：测试预浸机对基板的浸液均匀性。
2. 清洗效果检测：
- 清洗率：评估预浸机对基板表面的清洗效果。
- 清洗后残留物检测：检测清洗后是否有残留物。
3. 预浸机参数检测：
- 浸液浓度：测试预浸机浸液中溶液的浓度。
- 循环时间：检测预浸机循环一次的时间。
- 浸液注入速度：检测预浸机浸液注入基板的速度。
- 浸液排出速度：测试预浸机浸液排出的速度。
- 气压：检测预浸机的气压是否稳定。
4. 设备安全检测：
- 电气安全性：检查预浸机的电气系统是否符合安全标准。
- 泄漏检测：测试预浸机是否存在泄漏问题。
通过以上检测范围，可以对预浸机的性能和质量进行全面评估和监控，以确保产品的稳定性和可靠性。
