栅线间距检测主要应用于半导体行业，用于检测半导体芯片上的栅线之间的间距。
栅线间距检测的主要目的是判断栅线的制程是否达到要求，以保证芯片的正常工作。
栅线间距检测的具体方法主要包括以下几个方面：
1. 光学测量法：
采用光学显微镜或激光干涉仪等设备，通过对栅线进行放大观察，测量栅线之间的间距。
2. 电子显微镜法：
使用电子显微镜对栅线进行放大观察，并结合图像处理技术，测量栅线之间的间距。
3. X射线衍射法：
利用X射线的衍射现象，对栅线进行分析，从而测量栅线之间的间距。
4. 原子力显微镜法：
使用原子力显微镜对栅线进行扫描，通过探测器测量扫描得到的信号，进而测量栅线之间的间距。
栅线间距检测的主要对象是半导体芯片中的栅线，通过检测栅线间距，可以评估半导体芯片的制程质量，并对产品的性能和可靠性进行保障。
