真空喷涂是一种常用的涂层工艺，为了确保涂层质量和性能，需要进行相应的检测分析测试。以下是常见的用于真空喷涂检测的仪器：
1. 电子显微镜（SEM）：通过电子束扫描样品表面，可以获得高分辨率的图像，观察涂层的结构和形貌。
2. X射线衍射仪（XRD）：用于确定涂层的结晶性和晶相组成。
3. 扫描探针显微镜（SPM）：可以测量涂层的表面粗糙度、硬度等性能参数。
4. 涂层厚度计：用于测量涂层的厚度，常见的有光学式、磁性式、 X射线式等。
5. 能谱分析仪（EDS）：通过分析样品表面的元素组成和含量，判断涂层的化学成分。
6. 硬度测试仪：用于测量涂层的硬度，常见的有洛氏硬度计、维氏硬度计、显微硬度计等。
