1. 漏气检测：使用气体检测仪器对真空脱气设备进行漏气检测。将检测仪器连接至设备的气密部分，观察并记录检测仪器上的漏气指示。
2. 温度检测：使用温度计或红外线测温仪对设备的关键部位进行温度检测，确保设备工作温度符合要求。
3. 压力检测：使用压力表或压力传感器对设备的压力进行监测，检测设备是否能够维持所需的真空度。
4. 流量检测：使用流量计或流量传感器对设备的进出口流量进行检测，确保流量控制符合要求。
5. 泵效检测：通过监测泵的转速或功率来评估泵的效率，检测泵是否正常工作。
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