蒸发镀层检测通常包括对蒸发镀层的表面质量、厚度、粗糙度、附着力、组分及结构的测试，以确保其符合相关的要求和标准。
表面质量检测：
- 目视检查检测蒸发镀层表面是否存在气泡、粗糙度、沉损、划痕等缺陷。
- 显微镜观察检测蒸发镀层的表面形貌和颗粒分布情况。
- 光学显微镜观察检测蒸发镀层的结晶状态。
- 扫描电子显微镜（SEM）观察检测蒸发镀层的表面形貌和微观结构。
厚度测定：
- 蒸发镀层厚度测量：使用膜厚仪或表面形貌评估技术，测量蒸发镀层的厚度。
- 光学显微镜测量：利用显微镜观察蒸发镀层的颜色变化，估计其厚度。
- 剥离法测量：通过在已知面积上剥离蒸发镀层，然后通过称重或其他方法测量剥离的蒸发镀层的质量，从而计算出其厚度。
粗糙度测量：
- 原子力显微镜（AFM）测量：使用原子力显微镜对蒸发镀层的表面进行扫描，获取其表面粗糙度参数。
- 表面轮廓仪测量：使用表面轮廓仪对蒸发镀层的表面轮廓进行测量，并得到其表面粗糙度参数。
附着力测试：
- 划格法测试：使用硬度划痕仪或者钢笔、刻刀等工具在蒸发镀层表面进行一定深度的划痕，观察划痕的形状和颗粒的脱落情况。
- 剥离试验：使用刀片、胶带等工具将蒸发镀层剥离，检测剥离的程度和范围。
组分分析：
- X射线衍射（XRD）分析：使用X射线衍射技术对蒸发镀层的组分进行定性和定量分析。
- 能谱仪分析：使用能谱仪对蒸发镀层进行元素分析，确定其组成成分。
结构分析：
- X射线衍射（XRD）分析：使用X射线衍射技术对蒸发镀层的结晶结构进行研究。
- 透射电子显微镜（TEM）观察：使用透射电子显微镜对蒸发镀层进行微观结构的观察和分析。
