真空罩检测-检测仪器
真空检测仪器主要用于对真空罩的真空度进行检测,常见的仪器有:
1. 真空计:能够测量真空罩内的气体压力,包括热离子、热电子、热阴极、扩散、毛细管等多种类型。
2. 气体分析仪:用于检测真空罩内气体组成的仪器,可以测量气体的浓度、成分等参数。
3. 漏气检测仪器:用于检测真空罩内是否存在气体泄漏,包括漏气检测仪、质谱仪等。
4. 温度计:用于测量真空罩内的温度,可以选择不同类型的温度计,如热电阻、温度计、红外线温度计等。
5. 压差计:可以检测真空罩内外的气压差异,用于评估真空罩的密封性能。