1. 真空度检测仪：用于测量真空炉或真空环境的真空度，常见的有腔压式真空计、离子化真空计等。通过检测真空度，可以确定真空环境的质量。
2. 氧含量分析仪：用于测量金属材料中的氧含量，常用的有气相色谱法、溶液法、非色散X射线等。通过检测氧含量，可以评估金属材料的纯度和杂质含量。
3. 温度计：用于测量金属材料的温度，常见的有接触式温度计和非接触式温度计。通过检测温度，可以控制真空冶金过程的加热和冷却条件。
4. 气体分析仪：用于测量真空环境中的气体成分和浓度，常见的有气相色谱法、质谱仪、红外光谱仪等。通过检测气体成分，可以评估真空环境的气体污染情况。
5. 电子显微镜：用于观察金属材料的显微结构和成分分布，在真空条件下进行工作。通过电子显微镜的观察，可以进行金属材料的微观分析。
