激光干涉仪：用于检测直线位错。利用干涉光束在被测物体表面产生干涉图案，并通过观察干涉图案的变化来确定直线位错的存在。
显微镜：用于观察被测物体表面的直线位错。通过放大被测物体表面的细微结构，可以清晰地观察和测量直线位错的位置和尺寸。
电子显微镜：类似于普通显微镜，但使用电子束代替光束。电子显微镜可以提供更高的放大倍率和更高的分辨率，因此可以更准确地检测和测量直线位错。
电子束刻蚀系统：用于制备被测物体的横截面。通过使用电子束对物体表面进行刻蚀，可以得到一个具有高精度的横截面，便于直线位错的检测和分析。
