X 射线衍射（XRD）：用于分析薄膜的晶体结构和相组成。
扫描电子显微镜（SEM）：可观察薄膜的表面形貌和微观结构。
原子力显微镜（AFM）：用于研究薄膜的表面粗糙度和形貌。
台阶仪：测量薄膜的厚度。
四探针测试仪：测量薄膜的电阻率。
椭圆偏振仪：可确定薄膜的光学常数，如折射率和厚度。
X 射线光电子能谱（XPS）：分析薄膜的化学成分和元素价态。
俄歇电子能谱（AES）：用于表面元素分析。
拉曼光谱：研究薄膜的分子结构和化学键。
傅里叶变换红外光谱（FTIR）：分析薄膜中的官能团和化学键。
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中析研究所
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