真空泄漏阀检测通常使用以下仪器：
1. 高精度真空度测试仪：用于测量真空泄漏阀的真空度。该仪器能够提供精确的真空度读数，帮助判断真空泄漏阀的性能。
2. 气密性测试仪：用于检测真空泄漏阀的气密性。该仪器能够通过漏气测试，确定真空泄漏阀是否存在气密性问题。
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中析研究所
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