真空镀覆检测是一种用于检测薄膜镀覆质量的方法。以下是常用于真空镀覆检测的仪器：
1. 光谱激光扫描仪（spectral laser scanner）：用于测量镀层的厚度和光学性能，可以实时监测镀层的均匀性和光学透明度。
2. X射线衍射仪（X-ray diffractometer）：用于分析镀层的晶体结构和晶格常数，判断镀层的结晶性和相变。
3. 电子显微镜（electron microscope）：用于观察镀层的形貌和表面形成机制，可以检测镀层的致密性和粒径分布。
4. 近红外光谱仪（near-infrared spectroscopy）：用于分析镀层的化学成分和有机物含量，可以检测镀层的组成和纯度。
5. 热脱附质谱仪（thermogravimetric analyzer）：用于测试镀层的热稳定性和气体吸附性能，可以评估镀层的热脱附行为。
