激光干涉仪：可用于测量线性位移、角度、直线度等，精度高，适用于高精度位置精度检测。
三坐标测量机：可对三维空间内的物体进行高精度测量，包括位置、形状、尺寸等。
影像测量仪：通过图像处理技术对物体进行非接触式测量，适用于平面位置精度检测。
百分表/千分表：用于测量相对位置精度，操作简单，但精度相对较低。
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中析研究所
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