真空脱气检测用到的仪器主要有：
1. 真空泵：用于将被测样品所在的容器抽成一定的真空度，通常有旋片式真空泵、鼓风式真空泵等。
2. 气体检测仪：用于测试真空系统中气体的种类和浓度，常见的气体检测仪有气体质谱仪、气体检测仪等。
3. 压力传感器：用于监测真空系统的压力变化，一般采用压电传感器、静电容传感器等。
4. 温度传感器：用于测量真空系统中的温度，一般采用热电偶、热敏电阻等。
5. 液压仪表：用于监测真空系统中的液体压力变化，一般包括压力表、液位计等。
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