外延缺陷检测主要应用于半导体材料和器件的生产和研发过程中，用于检测外延层中的各种缺陷。
常见的外延缺陷检测对象包括但不限于：
半导体材料：如硅、锗、砷化镓等。
外延层：如硅外延层、砷化镓外延层等。
半导体器件：如二极管、晶体管、集成电路等。
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中析研究所
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