X 射线衍射（XRD）：用于分析外延生长膜的晶体结构和取向。
扫描电子显微镜（SEM）：可观察外延生长膜的表面形貌和微观结构。
原子力显微镜（AFM）：用于测量外延生长膜的表面粗糙度和形貌。
拉曼光谱：可提供关于外延生长膜的化学键和晶体结构的信息。
光致发光光谱：用于研究外延生长膜的光学性质和缺陷。
霍尔效应测量：可确定外延生长膜的电学性质，如载流子浓度和迁移率。
椭圆偏振光谱：用于测量外延生长膜的厚度、折射率和消光系数。
二次离子质谱（SIMS）：可分析外延生长膜中的杂质和元素分布。
透射电子显微镜（TEM）：提供外延生长膜的微观结构和晶体缺陷的详细信息。
