真空量检测是指对封闭空间内部真空度进行测量和评估的一种检测方法。
真空量检测适用于以下领域：
1. 制造业：用于检测真空设备、真空包装等的真空质量。
2. 科研领域：用于检测实验室、研究机构中的真空设备、实验室环境等。
3. 医疗行业：用于检测医疗设备（如MRI、CT等）中的真空度。
4. 航空航天：用于检测航空航天器、航空航天设备中的真空度。
5. 光电子学：用于检测光学设备、半导体器件等中的真空度。
常见的真空量检测方法包括但不限于：
1. 硬度检测：采用精密真空计、质量分析仪等设备，通过测量气体分子在真空中的运动情况来评估真空度。
2. 快速漏气检测：采用质谱仪、氦质谱检漏仪等设备，通过检测漏气速率来评估真空度。
