在杂质扩散系数检测中，常用的仪器有：
1. 热蒸发仪：该仪器用于测定材料中杂质的扩散系数。通过将样品加热，使杂质蒸发并沉积到导热材料上，然后通过测量导热材料上的杂质浓度分布来计算扩散系数。
2. 前沿面扫描仪：这是一种非接触式检测仪器，通过扫描材料前沿面上的杂质浓度分布来计算扩散系数。仪器将激光束聚焦在样品上，然后通过测量散射光的强度来获取杂质浓度分布。
3. 气相色谱-质谱联用仪：该仪器主要用于分析挥发性杂质的扩散系数。样品首先通过气相色谱柱进行分离，然后进入质谱仪进行质量分析。根据挥发性杂质在气相色谱中的停留时间和质谱图谱，可以计算扩散系数。
