1. 散射仪： 散射仪是用来测量杂质散射参数的仪器。它通过测量样品中散射光的强度和角度分布来分析样品中的杂质。
2. 激光粒度分析仪： 激光粒度分析仪是一种利用激光光源和散射光的强度与角度分布来测量样品粒径分布的仪器。它可以用来检测杂质的粒径分布。
3. 动态光散射仪： 动态光散射仪是一种使用激光光源对液体样品中的颗粒进行散射分析的仪器。它可以测量样品中散射光的强度和角度分布，从而评估样品中的杂质。
4. X射线衍射仪： X射线衍射仪利用X射线衍射分析方法来确定晶体结构和样品的成分。通过测量杂质样品中X射线的衍射图案，可以检测杂质的存在及其可能的化学组成。
5. 红外光谱仪： 红外光谱仪可以通过测量杂质样品中的红外光吸收来分析样品的化学组成和结构。它可以用于检测杂质的存在和可能的化学成分。
