真空硅脂检测可以使用以下仪器：
1. 真空度测试仪：用于检测装置所处的真空度。常见的真空度测试仪有压力变送器、热导式真空计等。
2. 硅脂含量测试仪：用于测量硅脂在样本中的含量。常见的测试仪有红外光谱仪、质谱仪等。
3. 硅脂质量测试仪：用于检测硅脂样品的质量特性，如粘度、凝固点等。常见的测试仪有粘度计、冷却器等。
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