真空区检测通常使用以下仪器：
1. 真空计：用于测量真空度的仪器。常见的真空计包括电离真空计、热电偶真空计、扩散真空计等。
2. 漏斗式真空度计：用于快速检测真空系统的漏气情况。通过观察漏斗内的指示剂的位置变化，判断系统是否有漏气。
3. 快速抽气泵：用于快速排除真空系统内的气体，以达到所需真空度的仪器。常见的快速抽气泵包括机械泵、分子泵等。
4. 质谱仪：用于检测真空系统中的气体成分和质量分析的仪器。质谱仪可以根据气体的质量-荷电比进行分析和鉴定。
5. 气体分析仪：用于检测真空系统中气体的组分和浓度的仪器。常见的气体分析仪包括气相色谱仪、红外光谱仪等。
