检测项目
1.线宽精度：测量图形边缘分辨率偏差值，允许公差0.1μm（@1X掩膜版）
2.透光率：紫外波段（365nm）透射率≥95%，局部波动≤1.5%
3.缺陷密度：采用0.13μm灵敏度扫描仪检测，Class10级掩膜版缺陷数≤0.01个/cm
4.热膨胀系数：温度循环（20-80℃）下尺寸稳定性≤0.5ppm/℃
5.表面粗糙度：原子力显微镜（AFM）测试Ra≤0.5nm
检测范围
1.石英基板掩膜版：适用于DUV光刻工艺的硬质透明基材
2.铬膜掩膜版：金属镀层图形化产品（Cr厚度80-120nm）
3.乳胶掩膜版：低成本PCB制程用有机感光材料
4.柔性聚合物掩膜版：卷对卷工艺用PET/PEN基材
5.相位偏移掩膜版（PSM）：含MoSiON多层结构的先进制程产品
检测方法
1.ASTMF1526-2021：透射/反射光谱法测定光学特性
2.ISO14645:2020：激光干涉仪线宽测量标准流程
3.GB/T16594-2008：原子力显微镜表面形貌测试规范
4.SEMIP35-1109：半导体用掩膜版缺陷分类标准
5.GB/T29732-2013：石英玻璃热膨胀系数测试方法
检测设备
1.KLA-TencorP16+：0.13μm分辨率激光缺陷扫描系统
2.ZygoNewView9000：白光干涉三维形貌分析仪
3.HitachiCG4100：临界尺寸扫描电镜（CD-SEM）
4.BrukerDimensionIcon：原子力显微镜（AFM）
5.ThermoScientificiCAPRQ：ICP-MS金属杂质分析仪
6.AgilentCary7000：全波段分光光度计
7.NikonMM-400T：自动影像测量系统（精度0.25μm）
8.NetzschDIL402Expedis：热膨胀系数测试仪
9.VeecoNT9100：非接触式表面粗糙度测量仪
10.LasertecMPM300：多波长相位测量系统
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
