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气体电离检测

检测项目

1. 电离效率:测量单位电场强度下产生的离子对数(范围:85%-98%)

2. 离子迁移率:测定正/负离子在电场中的移动速度(典型值:1.0-2.5 cm²/(V·s))

3. 电离阈值电压:确定气体开始电离的最低电压(范围:200-800 V/cm)

4. 离子浓度分布:分析空间电荷密度(分辨率:±5×10³ ions/cm³)

5. 气体纯度影响系数:评估杂质含量对电离特性的干扰(精度:0.1 ppm)

检测范围

1. 半导体制造用高纯惰性气体(氩气/氮气纯度≥99.999%)

2. 高压开关设备的六氟化硫绝缘气体

3. 医疗CT设备X射线管冷却气体

4. 工业焊接保护气体混合体系

5. 航空航天密封舱体空气组分

检测方法

1. ASTM F1394-2018:半导体制造用气体纯度电离检测规范

2. ISO 19238:2014:放射性环境下气体电离室校准方法

3. GB/T 11605-2021:湿度对气体电离特性影响的测量方法

4. IEC 60092-507:2020:船用电气设备气体绝缘性能测试

5. JJG 1069-2011:电离真空计检定规程

检测设备

1. Thermo Scientific 5110型双极电离分析仪(测量范围:10³-10¹⁰ ions/m³)

2. Agilent 7890B气相色谱-质谱联用仪(纯度分析精度0.01 ppm)

3. Keysight B1505A高压电源系统(输出范围:0-50 kV/DC)

4. MKS 925B型电容式离子流传感器(响应时间<50 ms)

5. Horiba STIC-3000空间电荷密度分析系统(三维分辨率0.1 mm)

6. Bruker Q4 Tof质谱仪(质量范围:1-3000 amu)

7. Fluke 8588A参考级静电计(测量精度±0.002%)

8. Shimadzu GC-2030气相色谱仪(FID检测限1 ppb)

9. TSI 3068B型大气离子计数器(粒径分辨率0.3-2 nm)

10. Pfeiffer HPT200磁悬浮转子真空计(量程10⁻⁴-1000 mbar)

北京中科光析科学技术研究所【简称:中析研究所】

报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期:7~15工作日,可加急。

资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试:支持定制化试验方案。

售后:报告终身可查,工程师1v1服务。

气体电离检测
其他检测

中析研究所可进行各种检测分析服务,包括不限于:标准试验,非标检测,分析测试,认证设计,产品验收,质量内控,矢量分析,内部控制,司法鉴定等。可出具合法合规、具有公信力的第三方检测报告。