真空计压力检测-检测仪器
真空计压力检测常用的仪器有:
1. 热阴极离子化真空计:利用热阴极发射电子,通过电子轰击气体分子产生离子,通过离子电流检测气体压力。
2. 气体放电真空计:利用气体放电现象来测量气体压力,这种真空计的工作原理是通过电子和离子在气体中的碰撞释放能量,测量能量释放的大小来推算气体压力。
3. 导电油浸真空计:在真空度高时,电离空间的尺寸变小,电离电流增加,因此油浸导电电离真空计可以测量高真空的压力。
4. 硅微结真空计:利用硅晶体和金属结构的PN结构,通过测量电流和电压的关系来测量气体压力。