肇转阴极检测是一种针对阴极表面的检测方法，主要用于判断阴极的表面质量和性能。
常用的肇转阴极检测仪器包括：
1. 阴极电子显微镜（SEM）：用于观察和分析阴极表面的形貌和微观结构。
2. 扫描电流显微镜（SCM）：利用扫描电流显微镜原理，检测阴极表面的电流分布情况，以评估阴极表面的均匀性和质量。
3. 表面粗糙度仪（Surface roughness meter）：用于测量阴极表面的粗糙度，以评估阴极表面的平整度。
4. X射线衍射仪（XRD）：通过分析阴极表面的X射线衍射谱图，确定阴极材料的晶体结构和组成。
5. 能谱仪（EDS）：配合SEM使用，用于分析阴极表面的元素成分和浓度。
6. 拉曼光谱仪（Raman spectroscopy）：通过测量阴极表面的拉曼光谱，获取阴极材料的化学成分和结构信息。
