真空金属喷涂检测常用的仪器有：
1.真空腔体：用于创建真空环境，通常是一个密封的金属腔体，能够提供高度真空的环境。
2.电子束蒸发器（EBPVD）：用于将金属材料加热蒸发，形成金属蒸汽。
3.离子镀膜设备（PVD）：利用离子轰击的方式将金属材料沉积在基底上形成金属膜。
4.厚度测量仪：用于测量金属膜的厚度，常见的有雷达测厚仪、X射线衍射仪等。
5.表面形貌分析仪：用于观察金属膜的表面形貌，常见的有扫描电子显微镜（SEM）等。
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