1. 检测真空度：使用真空测试仪器对设备内的真空度进行测试。测试仪器通常以毫巴（mbar）或帕斯卡（Pa）为单位进行测量。
2. 检测泄漏：使用检漏仪器对设备进行泄漏测试，以确定是否存在泄漏点。检漏仪器可以检测气体泄漏或液体泄漏。
3. 检测温度控制：使用温度计或温度传感器对设备进行温度测量。检测温度是否符合设备要求。
4. 检测压力控制：使用压力计或压力传感器对设备内的压力进行测量。检测设备的压力是否处于正常范围内。
5. 检测流量控制：使用流量计或流量传感器对设备的流量进行测量。检测设备的流量是否稳定且符合要求。
6. 检测设备的电气性能：使用电流表、电压表或电阻表等仪器对设备的电气性能进行测试。确保设备的电气元件和电路正常工作。
