1. 微电极制备设备：包括薄膜沉积设备、腐蚀设备、刻蚀设备等。这些设备用于在基底上制备微电极阵列，通常通过化学蚀刻或物理沉积来制备微电极。
2. 电化学工作站：用于进行电化学实验，包括电位扫描仪、电化学阻抗谱仪、恒流源等。这些设备用于测量微电极阵列的电化学性能，如电位响应和电流响应。
3. 光学显微镜：用于观察微电极阵列的形貌和表面特征，常见的包括倒置显微镜和扫描电子显微镜。
4. 微流控装置：用于控制样品的流动和混合，常见的包括微流控芯片和微流控泵。这些设备用于在微电极阵列上进行流动实验，如流动电化学和流动传感。
5. 数据采集系统：用于记录和处理微电极阵列的检测信号，常见的包括模拟信号采集卡和数字信号处理器。这些设备用于对微电极阵列的电信号进行采集、滤波和分析。
