真空泵叶片检测主要用到以下仪器：
1. 光学显微镜：用于检查叶片表面的缺陷、磨损或断裂。
2. 金相显微镜：用于观察叶片的金相组织结构，检测是否存在晶界腐蚀、裂纹等问题。
3. 三坐标测量仪：用于测量叶片的尺寸、形状、平面度等参数。
4. 硬度测试仪：用于检测叶片的硬度，判断其是否符合要求。
5. 磨损测试台：用于模拟真实工作状态下的叶片磨损情况，评估其耐磨性能。
6. 示波器：用于检测叶片工作时的振动情况，判断是否存在异常。
7. 多功能测试仪：用于检测叶片的功率消耗、转速等参数，评估其性能。
